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奈米科技使用更小型、省能、智慧、反應空間範圍更小,卻更有效率的生產工具,因此意味製程環境工業安全衛生將受到更多保障,受污染物理或化學反應危害將大為降低,但工作環境管理、廠務技術與知識的要求也將遠比以往更加嚴苛。
對於奈米級廠務科技起步較晚的台灣,雖然基礎技術與設備已逐漸完備,但一般民眾對於奈米級環境科技的認知與認同度未明,本書完整說明奈米級廠務原理與技術、建造與施工、安全衛生與設施環境管理,可使讀者充分認識奈米級廠務技術及工安衛管理,這將是企業提昇產品品質與創新價值、個人邁入奈米科技職場優勢與競爭力的重要發展方向。
第一篇 緒論 1 奈米科技的發展與應用 1-1 奈米科技簡介 1-2 奈米科技應用 1-3 各國推動奈米科技及產業之研發現況 2 奈米製程概述 2-1 半導體製造廠前段製程 2-2 半導體製造廠後段製程 3 廠務系統與潔淨室 3-1 潔淨室簡介 3-2 潔淨室的定義與分類 4 超潔淨無塵室 4-1 超潔淨無塵室組成 4-2 潔淨室技術及其未來動向
第二篇 廠務技術與工程管理 5 潔淨室空調系統 5-1 潔淨室懸浮微粒的污染特性 5-2 冷凍空調原理 5-3 潔淨室空調之循環、進氣與排氣系統 5-4 冰水、熱水與二次冰水系統 5-5 潔淨室的溫、濕度控制 5-6 潔淨室空調系統技術與未來方向 6 氣體供應系統 6-1 大宗氣體供應設備 6-2 半導體廠大宗氣體純化器 6-3 各類毒性氣體特性 6-4 特殊氣體管路設計 6-5 特殊氣體的供應方式 6-6 氣體監測器介紹 6-7 空氣呼吸系統 7 特殊氣體及化學品供應系統 7-1 特殊氣體簡介 7-2 特殊氣體與監測系統 7-3 奈米級廠之化學品 8 純水及廢水系統 8-1 純水系統 8-2 有機廢水處理系統 8-3 無機廢水處理系統 9 半導體工業之靜電污染控制 9-1 靜電對人體可能產生的危害 9-2 晶片靜電污染及防制 9-3 迷你潔淨室靜電控制 10 潔淨室煙控原理 10-1 國內現有防排煙模式分析 10-2 有效之煙控模式 11 噪音與振動 11-1 噪音 11-2 振動 11-3 潔淨室之振動與噪音 12 火災與消防偵監 12-1 消防系統簡介 12-2 工業配電開關器材選用 12-3 監視系統 12-4 緊急廣播系統
第三篇 建造規劃與維護管理 13 奈米級廠建廠工程管理 13-1 合約與建廠 13-2 施工管理 14 潔淨室施工管理 14-1 潔淨室工程施工管理 14-2 潔淨室測試 14-3 無塵室潔淨度測試規範 14-4 潔淨室測試與驗收 15 監工人員教材 15-1 監工人員責任 15-2 監工人員注意事項 16 潔淨室規劃與運轉管理 16-1 潔淨室設計原則 16-2 潔淨室規劃 16-3 潔淨室的系統結構 16-4 潔淨室運轉與維護管理
第四篇 環境衛生與工安管理 17 污染源及污染特性 17-1 空氣污染源 17-2 廢水污染源 17-3 廢棄物污染源 17-4 污染物種類及特性 18 水污染防制技術 18-1 廠內管理及減廢 18-2 處理原理及流程 18-3 廢水分流蒐集及貯存系統 18-4 處理單元及設備操作維護 18-5 控制儀錶 19 空氣污染防制技術 19-1 空氣污染物蒐集系統 19-2 廢氣處理系統 19-3 空氣污染防制設備操作維護 20 廢棄物處理 20-1 廢棄物貯存 20-2 廢棄物清除 20-3 廢棄物減量 20-4 廢棄物處理 21 奈米級產業工業安全衛生環保 21-1 工業安全衛生環保概述 21-2 半導體工業之危害 21-3 半導體安全衛生管理
附錄
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