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氮化鎵微波功率器件出現至今,無論是其關鍵技術還是工程應用均取得了快速發展,目前已在新一代移動通信、新型雷達等領域獲得了廣泛應用。為了推動氮化鎵知識的普及,促進讀者對氮化鎵技術的瞭解,作者結合研究團隊多年的研究及技術實踐編撰了此書。本書共6章,包括緒論、氮化物材料MOCVD生長技術、氮化鎵微波功率器件技術、微波功率器件新型工藝、微波功率器件建模、新型氮化鎵微波功率器件。本書可作為微電子器件領域學生的專業教材,也可作為相關領域研究生及從業人員的參考資料。
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