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第1章 緒論 第2章 工藝條件對多晶硅納米薄膜特性的影響 第3章 多晶硅納米薄膜的楊氏模量研究 第4章 多晶硅納米薄膜的壓力感測器應用研究 第5章 多晶硅納米薄膜壓力感測器的測試與分析 參考文獻
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