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第1章 概論 1 1.1 發展歷史 1 1.2 本書的目標和結構 3 1.3 電路設計舉例 6 1.4 VLSI 設計方法綜述 12 1.5 VLSI 設計流程 14 1.6 設計分層 15 1.7 規範化、模組化和當地語系化的概念 18 1.8 VLSI 的設計風格 18 1.8.1 現場可程式設計閘陣列(FPGA) 19 1.8.2 閘陣列的設計 1.8.3 基於標準單元的設計 23 1.8.4 全定制設計 25 1.9 設計品質 26 1.9.1 可測試性 26 1.9.2 成品率和可製造性 27 1.9.3 可靠性 27 1.9.4 技術升級能力 28 1.10 封裝技術 28 1.11 電腦輔助設計技術 30 1.11.1 綜合工具 30 1.11.2 版圖工具 30 1.11.3 和檢驗工具 31 31 第2章 MOS 場效應管的製造 34 2.1 概述 34 2.2 製造工藝的基本步驟 34 2.2.1 nMOS 晶造 36 2.2.2 器件隔離技術 39 2.2.3 矽局部氧化(LOCOS) 39 2.2.4 多層互連結構和金屬化 40 2.3 CMOS n 阱工藝 41 2.4 CMOS 技術的發展 45 2.5 版圖設計規則 50 2.6 全定制掩模版圖設計 52 55 第3 章 MOS 電晶體 57 3.1 金屬-氧化物-半導體(MOS)結構 57 3.2 外部偏置下的MOS 系統 60 3.3 MOS 場效應管(MOSFET)的結構和作用 62 3.3.1 閾值電壓 64 3.3.2 MOSFET 工作狀況的定性觀察 68 3.4 MOSFET 的電流-電壓特性 69 3.4.1 漸變溝似 69 3.4.2 溝道長度調製 73 3.4.3 襯底偏置效應 75 3.5 MOSFET 的收縮和小尺效應 76 3.5.1 全收縮(恒場強等比例收縮) 77 3.5.2 恒電壓按比例收縮 78 3.5.3 短溝道效應的電流-電壓方程 79 3.5.4 參數測量 83 3.5.5 小幾何尺器件的閾值電壓 87 3.5.6 窄溝道效應 91 3.5.7 小尺器件引起的其他限制 92 3.5.8 納米級技術中的易變性 95 3.6 MOSFET 電容 99 3.6.1 氧化相關電容 100 3.6.2 結電容 102 106 第4章 用SPICE行MOS 管建模 109 4.1 概述 109 4.2 基本概念 109 4.3 一級模型方程 111 4.4 二級模型方程 114 4.4.1 電場遷移率的變化 115 4.4.2 飽和情況下的溝道長度變化 115 4.4.3 載流子速率飽和 116 4.4.4 亞閾值電導 116 4.4.5 其他小尺修正 117 4.5 三級模型方程 117 4.6 的MOSFET 模型 118 4.7 電容模型 118 4.8 SPICE MOSFET 模型的比較 121 附錄 典型SPICE 模型參數 122 127 第5章 MOS 反相器的靜態特性 128 5.1 概述 128 5.1.1 電壓傳輸特性(VTC) 129 5.1.2 雜訊和雜訊容限 130 5.1.率和晶片面積的考慮 132 5.2 電阻負載型反相器 133 5.2.1 VOH的計算 134 5.2.2 VOL的計算 134 5.2.3 VIL的計算 135 5.2.4 VIH的計算 135 5.2.耗和晶片面積 137 5.3 MOSFET 負載反相器 140 5.3.1 型負載nMOS 反相器 140 5.3.2 偽nMOS 反相器 140 5.3.3 VOH的計算 142 5.3.4 VOL的計算 142 5.3.5 VIL的計算 143 5.3.6 VIH的計算 143 5.3.7 偽nMOS 反相器設計 144 5.3.耗和佔用面積問題的考慮 145 5.4 CMOS 反相器 148 5.4.1 電路工作狀態 148 5.4.2 VIL的計算 152 5.4.3 VIH的計算 153 5.4.4 Vth的計算 154 5.4.5 CMOS 反相器的設計 157 5.4.6 CMOS 反相器的電源電壓按比例減小 160 5.4.耗和佔用面積問題的考慮 160 附錄 小尺器件CMOS 反相器的尺設計趨勢 161 163 第6章 MOS 反相器的開關特性和體效應 166 6.1 概述 166 6.2 延遲時間的定義 167 6.3 延遲時間的計算 168 6.4 延遲限制下的反相器設計 174 6.5 互連線電容的估算 181 6.5.1 互連線電容估算 184 6.5.2 互連線電阻的估算 190 6.6 互連線延遲的計算 190 6.6.1 RC 延遲模式 190 6.6.2 Elmore 延遲 191 6.7 CMOS 反相器的耗 196 6.7.率表 198 6.7.率-延遲積 1 6.7.3 能量-延遲積 2 附錄 緩衝器的設計 2 4 第7章 組合MOS 邏輯電路 8 7.1 概述 8 7.2 帶偽nMOS(pMOS)負載的MOS 邏輯電路 8 7.2.1 雙輸入“或非”邏輯門 8 7.2.2 VOH的計算 9 7.2.3 VOL的計算 9 7.2.4 多輸入的一般“或非”結構 211 7.2.5 “或非”門的瞬態分析 211 7.2.6 雙輸入“與非”門 213 7.2.7 多輸入的一般“與非”門結構 215 7.2.8 “與非”門的瞬態分析 216 7.3 CMOS 邏輯電路 217 7.3.1 CMOS NOR2(雙輸入“或非”門)邏輯門 217 7.3.2 CMOS NAND2(雙輸入“與非”門)邏輯門 221 7.3.3 簡單CMOS 邏輯門的版圖 221 7.4 複雜邏輯電路 222 7.4.1 複雜CMOS 邏輯門 224 7.4.2 複雜CMOS 邏輯門的版圖 225 7.4.3 “與或非”和“或與非”邏輯門 227 7.4.4 偽nMOS 複雜邏輯門 228 7.4.5 採用納米級技術的CMOS 邏輯電路的尺設計 230 7.5 CMOS 傳輸門 232 239 第8章 時序MOS 邏輯電路 244 8.1 概述 244 8.2 雙穩態元件的特性 244 8.3 SR 鎖存電路 248 8.4 鐘控鎖存器和觸發器電路 252 8.4.1 鐘控SR 鎖存器 252 8.4.2 鐘控JK 鎖存器 254 8.4.3 主從觸發器 255 8.5 鐘控記憶體的時間相關參數 257 8.6 CMOS 的D 鎖存器和邊沿觸發器 258 8.7 基於脈衝鎖存器的鐘控記憶體 262 8.8 基於讀出放大器的觸發器 263 8.9 時鐘記憶體件中的邏輯嵌入 264 8.10 時鐘系統的能耗及其節能措施 265 附錄 266 269 第9章 動態邏輯電路 272 9.1 概述 272 9.2 傳輸電晶體電路的基本原理 273 9.2.1 邏輯“1”切換 274 9.2.2 邏輯“0”切換 276 9.2.3 電荷的儲存與泄放 278 9.3 電壓自舉技術 281 9.4 同步動態電路技術 283 9.5 動態CMOS 電路技術 287 9.5.1 CMOS 傳輸門邏輯 287 9.5.2 動態CMOS 邏輯(預充電-定值邏輯) 289 9.6 高性能動態邏輯CMOS 電路 290 9.6.1 多米諾CMOS 邏輯 290 9.6.2 NORA CMOS 邏輯(NP-多米諾邏輯) 297 9.6.3 拉鍊式CMOS 電路 299 9.6.4 時鐘(TSPC)動態CMOS 299 302 第10章 半導體記憶體 305 10.1 概述 305 10.2 動態隨機記憶體(DRAM) 309 10.2.1 DRAM 的結構 309 10.2.2 DRAM 單元的歷史演變過程 310 10.2.3 DRAM 單元類型 311 10.2.4 三電晶體DRAM 單元的工作原理 312 10.2.5 單晶體管DRAM 單元的工作過程 315 10.2.6 DRAM 操作模式 319 10.2.7 DRAM 存儲單元的漏電流和刷新操作 321 10.2.8 DRAM 輸入/輸出電路 322 10.2.9 DRAM 片上電壓發生器 326 10.3 靜態隨機記憶體(SRAM) 329 10.3.1 CMOS SRAM 單元 331 10.3.2 CMOS SRAM 單元的設計方法 332 10.3.3 SRAM 的運用 334 10.3.4 SRAM 單元中的漏電流 337 10.3.5 SRAM 讀/寫電路 338 10.3.6 低壓SRAM 339 10.4 非動態記憶體 340 10.5 快閃記憶體 349 10.5.1 NOR 快閃記憶體單元 351 10.5.2 NAND 快閃記憶體單元 352 10.5.3 多單元的概念 354 10.5.4 快閃記憶體電路 354 10.6 鐵電隨機記憶體(FRAM) 355 357 第11章耗CMOS 邏輯電路 362 11.1 概述 362 11.耗綜述 362 11.2.1 耗 363 11.2.2 減少耗的方法 365 11.2.3 耗 365 11.2.4 耗 368 11.2.5 耗舉例 370 11.3 電壓按比例降低耗設計 371 11.3.1 電壓按比例降率和延遲的影響 371 11.3.2 可變閾值CMOS(VTCMOS)電路 373 11.3.3 多閾值CMOS(MTCMOS)電路 374 11.3.4 流水線操作方法 375 11.3.5 並行法(硬體) 377 11.4 開關啟動率的估算和優化 379 11.4.1 開關啟動率原理 379 11.4.2 減小開關啟動率 381 11.4.3 減少短脈衝干擾 381 11.4.4 門控時鐘信號 382 11.5 減小開關電容 383 11.5.1 系統級設計方法 383 11.5.2 電路級設計方法 384 11.5.3 掩模級設計方法 384 11.6 絕熱邏輯電路 385 11.6.1 絕熱開關 385 11.6.2 絕熱邏輯門 386 11.6.3 分步充電電路 387 389 第12章 算術組合模組 390 12.1 概述 390 12.2 加法器 390 12.2.1 CMOS 全加器電路 390 12.2.2 並行加法器 392 12.2.3位選擇加法器 392 12.2.4 超位加法器 394 12.2.5 並行首碼加法器 395 12.2.6 加法器設計中的折中 397 12.3 乘法器 398 12.3.1 陣列乘法器 398 12.3.2 華萊士(Wallace)樹乘法器 399 12.3.3 布思(Booth)乘法器 400 12.3.4 並行乘法器的整體設計 401 12.4 移位器 401 402 第13章 時鐘電路與輸入/輸出電路 406 13.1 概述 406 13.2 靜電放電(ESD)保護 406 13.3 輸入電路 408 13.4 輸出電路和L(di/dt)雜訊 412 13.5 片內時鐘生成和分配 415 13.5.1 簡單的時鐘生成器 415 13.5.2 鎖相環 415 13.6 閂鎖現象及其措施 424 附錄 片上網路:下一代片上系統(SoC)的新模式 428 431 第14章 產品化設計 433 14.1 概述 433 14.2 工藝變化 433 14.3 基本概念和定義 434 14.3.1 電路參數 434 14.3.2 含雜訊參數的分佈 435 14.3.3 電路性能指標 436 14.3.4 參數成品率和性能可變性 438 14.4 實驗設計與性能建模 439 14.4.1 因數設計 440 14.4.2 中心組合設計 441 14.4.3 Taguchi 正交陣列 441 14.4.4 拉丁超立方抽樣 442 14.4.5 模型擬合 443 14.5 參數成品率的評估 443 14.5.1 直接蒙特卡羅方法 445 14.5.2 性能模型方法 445 14.5.2 一個參數成品率評估的簡單範例 446 14.6 參數成品率的大值 447 14.6.1 基於蒙特卡羅的方法 447 14.6.2 幾何方法 447 14.6.3 一個簡單的成品率大化方法 447 14.6.4 參數成品率大化的一個簡單例子 448 14.7 壞情況分析 448 14.7.1 轉角技術 449 14.7.2 一種更實際的壞情況分析法 450 14.7.3 一個壞情況分析的簡單例子 451 14.8 性能參數變化的小化 452 454 第15章 可測試性設計 457 15.1 概述 457 15.2 故障類型和模型 457 15.3 可控性和可觀察性 460 15.4 專用可測試性設計技術 460 15.5 基於掃描的技術 462 15.6 內建自測(BIST)技術 464 15.7 電流監控IDDQ 檢測 466 467 參考文獻 468 物理和材料常數 473 公式 474
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