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譯者序 前言 致謝 作者簡介 第1章 半導體記憶體技術概述 1.1 記憶體層次結構介紹 1.1.1 澤級數據爆炸 1.1.2 存儲子系統中的記憶體層次結構 1.2 半導體記憶體產業 1.3 存儲陣列結構介紹 1.3.1 通用存儲陣列結構圖 1.3.2 存儲單元尺寸和等效比特面積 1.3.3 存儲陣列的面積效率 1.3.4 週邊電路:解碼器、多工器和驅動器 1.3.5 週邊電路:靈敏放大器 1.4 工業界的技術發展趨勢 1.4.1 摩爾定律與邏輯電路微縮趨勢 1.4.2 工藝節點的定義和集成密度的測量標準 1.5 邏輯電晶體的工藝演變 參考文獻 第2章 靜態隨機存取記憶體(SRAM) 2.1 6T SRAM單元操作 2.1.1 SRAM陣列和6T單元 2.1.2 保持、讀取和寫入的原理 2.2 SRAM穩定性分析 2.2.1 靜態雜訊容限 2.2.2 N曲線 2.2.3 動態雜訊容限 2.2.4 讀與寫的輔助方案 2.3 SRAM的漏電流 2.3.1 電晶體的亞閾值電流 2.3.2 降低SRAM的漏電流 2.4 漲落和可靠性 2.4.1 電晶體本征參數波動及其對SRAM穩定性的影響 2.4.2 時變可靠性問題及其對SRAM穩定性的影響 2.4.3 輻射效應造成的軟錯誤 2.5 SRAM版圖和微縮趨勢 2.5.1 6T單元版圖 2.5.2 SRAM微縮趨勢 2.6 基於FinFET的SRAM 2.6.1 FinFET 技術 2.6.2 FinFET時代SRAM的微縮 參考文獻 第3章 動態隨機存取記憶體(DRAM) 3.1 DRAM概述 3.1.1 DRAM子系統層次結構 3.1.2 DRAM I/O介面 3.2 1T1C DRAM單元操作 3.2.1 1T1C單元的工作原理 3.2.2 電荷共用和感應 3.2.3 DRAM的漏電流與刷新 3.3 DRAM工藝 3.3.1 溝槽電容和堆疊電容 3.3.2 DRAM陣列結構 3.3.3 DRAM版圖 3.4 DRAM微縮趨勢 3.4.1 微縮挑戰 3.4.2 單元電容 3.4.3 互連線 3.4.4 單元選通電晶體 3.5 3D堆疊DRAM 3.5.1 TSV技術與異構集成 3.5.2 高頻寬記憶體(HBM) 3.6 嵌入式DRAM 3.6.1 1T1C嵌入式DRAM 3.6.2 無電容嵌入式DRAM 參考文獻 第4章 快閃記憶體(Flash) 4.1 Flash概述 4.1.1 Flash的歷史 4.1.2 Flash的應用場景 4.2 Flash的器件原理 4.2.1 浮柵電晶體的工作原理 4.2.2 浮柵電晶體的電容模型 4.2.3 浮柵電晶體的擦寫機制 4.2.4 嵌入式Flash的源端注入 4.3 Flash的陣列結構 4.3.1 NOR陣列 4.3.2 NAND陣列 4.3.3 Flash陣列的週邊高壓電路 4.3.4 NAND Flash的編譯器 4.3.5 NOR和NAND的對比 4.4 多比特Flash單元 4.4.1 多比特Flash單元的基本原理 4.4.2 增量步進脈衝程式設計(ISPP) 4.5 Flash的可靠性 4.5.1 Flash的擦寫壽命 4.5.2 Flash的保持特性 4.5.3 Flash的單元干擾 4.5.4 可靠性問題之間的折中 4.6 Flash微縮的挑戰 4.6.1 單元間串擾 4.6.2 電子數量減少問題 4.7 3D NAND Flash 4.7.1 電荷俘獲型電晶體的工作原理 4.7.2 低成本的3D集成方法 4.7.3 3D NAND製造中的問題 4.7.4 第一代3D NAND晶片 4.7.5 3D NAND的最新發展趨勢 參考文獻 第5章 新型非易失性記憶體 5.1 新型非易失性記憶體概述 5.1.1 新型非易失性記憶體總覽 5.1.2 1T1R陣列 5.1.3 交叉陣列和選通器 5.2 相變記憶體(PCM) 5.2.1 PCM器件機理 5.2.2 PCM的可靠性 5.2.3 PCM陣列集成 5.2.4 3D X-point 5.3 阻變隨機存取記憶體(RRAM) 5.3.1 RRAM器件機理 5.3.2 RRAM的可靠性 5.3.3 RRAM陣列集成 5.4 磁性隨機存取記憶體(MRAM) 5.4.1 MTJ器件機理 5.4.2 場轉變MRAM 5.4.3 STT-MRAM 5.4.4 SOT-MRAM 5.5 鐵電記憶體 5.5.1 鐵電器件機理 5.5.2 1T1C FeRAM 5.5.3 FeFET 5.6 存算一體(CIM) 5.6.1 CIM原理 5.6.2 突觸器件屬性 5.6.3 CIM原型晶片 參考文獻 附錄 名詞對照表
余詩孟 是佐治亞理工學院電子與計算機工程系教授,也是IEEE會士(Fellow)。余教授的研究興趣包括用於高能效計算系統的半導體器件和積體電路。他的研究專長主要是新型非易失性存儲技術及相關應用,包括在深度學習加速器、存算一體、3D集成和硬體安全等多方面的應用。他已發表了400多篇經同行評審的會議和期刊論文,並擁有超過30000次的Google Scholar引用,H因數為82。
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